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技術(shù)文章

渦輪分子泵在安裝和使用的時候有什么注意事項?

點擊次數(shù):1472 發(fā)布時間:2020-3-17

渦輪分子泵的主要優(yōu)點是它們可以獲得更清潔的真空并且對所泵送氣體的化學(xué)特性不敏感。 但是抽速不能太快。 從應(yīng)用的角度來看,在安裝和操作分子泵時,請注意以下幾點。 

①立式和臥式分子泵均不能承受穩(wěn)定或瞬時的扭矩,并且入口法蘭不能承受較大的真空容器負荷或懸臂負荷。 連接系統(tǒng)法蘭時,必須格外小心,以免使分子泵受到較大的沖擊,否則會損壞轉(zhuǎn)子和軸承。 將渦輪分子泵懸掛在容器法蘭上,而不要像擴散泵那樣將進口法蘭用作系統(tǒng)安裝平臺。 

②渦輪分子泵是一種非常易碎的高速旋轉(zhuǎn)精密機械。 它不能突然暴露在大氣中。 錯誤操作可能會損壞葉片,甚至導(dǎo)致整個分子泵報廢。 盡管特別是立式渦輪分子泵的制造商試圖增加葉片的剛度和強度,設(shè)置了一些自動保護裝置,系統(tǒng)泄漏到大氣中,前級太高,電機定子或軸承太熱 ,并且電動機電流過載。 可以自動切斷電源。 保護裝置故障仍會引起事故。 

③渦輪分子泵軸承潤滑油和前級泵油的污染仍然是一些應(yīng)用領(lǐng)域亟待解決的問題。 軸承潤滑使用增壓泵油和儀表油。 正常運行時,分子泵對油的壓縮比大,污染小,但在停止泵期間,油蒸氣分子會擴散到泵系統(tǒng)中。 在10-3Pa的飽和蒸氣壓條件下,系統(tǒng)的內(nèi)表面充滿水。單個分子僅需幾秒鐘。 一旦系統(tǒng)被污染,通常需要在連續(xù)100到200°C烘烤幾天后恢復(fù)到原來的真空水平,以緩慢恢復(fù)到原來的水平。 

④軸承壽命問題。 磁懸浮軸承是有希望的理想軸承,它可以完*軸承壽命和油污問題。

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